一種制作濾光片的方法，可增加一半導(dǎo)體晶片上的一濾光片附著力并避免光線的跨越干擾現(xiàn)象;該方法是先于該半導(dǎo)體晶片上形成一介電層以覆蓋設(shè)于該半導(dǎo)體晶片上的MOS晶體管感測(cè)器;然后于該介電層上形成復(fù)數(shù)個(gè)金屬層約略設(shè)置于各MOS晶體管感測(cè)器兩側(cè)上方;接著形成一保護(hù)層，并于該保護(hù)層上形成一第一濾光片，其兩側(cè)與下方的兩該金屬層約略對(duì)齊;之后依序于該保護(hù)層上形成一第二濾光片以及一第三濾光片且分別部分相疊于該第一濾光片的一側(cè);其中各濾光片相疊的部分可以提高各該濾光片的附著力，同時(shí)形成一光線阻障層，以避免光線的跨越干擾的作用就是透紅外光截止可見光。這樣即使在光線不好或沒有的情況下，相機(jī)仍然可以拍攝不過是黑白效果了。

隨著窄帶濾光片在航空、航天、國(guó)防、通訊、環(huán)保、分析儀器等各個(gè)領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用,對(duì)其性能也提出了更高的要求。溫度和吸濕是影響帶通濾光片性能的2個(gè)主要因素。

分析其光學(xué)性能與聚集密度、溫度變化和吸濕等因素之間的關(guān)系。根據(jù)吸濕及溫度引起窄帶濾光片各層膜的厚度誤差,給出了吸濕前后及溫變前后光譜漂移的模型。通過對(duì)窄帶濾光片的光學(xué)穩(wěn)定性進(jìn)行分析和初步實(shí)驗(yàn),提出了改善窄帶濾光片光學(xué)性能的措施。

全介質(zhì)窄帶濾光片暴露于空氣后,很快出現(xiàn)宏觀上的吸水現(xiàn)象。先是膜層表面上出現(xiàn)許多吸水斑點(diǎn),之后逐漸擴(kuò)大并連成一片,最后形成均勻的吸水層。待膜層吸水達(dá)到穩(wěn)定后,測(cè)量濾光片的透射率就會(huì)發(fā)現(xiàn),不僅峰值波長(zhǎng)移向長(zhǎng)波,而且峰值波長(zhǎng)的透射率也有所增加。

引起原因：

薄膜中存在一定數(shù)量的孔隙,在膜層未吸水前,膜層中的孔隙為空氣所填充,其折射率為1;吸水后,孔隙被水填充,水的折射率為1.33。由于孔隙內(nèi)折射率的變化,使得膜層的平均折射率增加,又由于膜層的光學(xué)厚度隨著折射率增加而增加,因此出現(xiàn)了濾光片峰值波長(zhǎng)移向長(zhǎng)波的現(xiàn)象。

工作環(huán)境溫度對(duì)窄帶濾光片光學(xué)性能的影響

窄帶濾光片隨環(huán)境溫度變化發(fā)生的漂移可以歸因于薄膜材料的折射率溫度系數(shù)及其熱膨脹系數(shù)。窄帶濾光片的光學(xué)特性對(duì)溫度變化比較敏感。對(duì)于具有正溫度系數(shù)的材料,當(dāng)溫度變化很小時(shí),隨溫度的上升,最主要的影響就是波峰向長(zhǎng)波方向移動(dòng);當(dāng)溫度變化較大時(shí),通常濾光片的濕氣會(huì)放出來,有可能引起波峰向短波方向移動(dòng)。