彩色濾光片旨在降低直拉硅單晶氧含量，提高硅紅外濾光片透過率的硅片熱處理工藝。其特征是將硅片在400-1000℃溫度間的四段溫區(qū)逐步升溫并保溫適當(dāng)時(shí)間并在硅片冷卻至850℃以下時(shí)取出。

處理后的直拉硅單晶片在9um處的透過率接近或達(dá)到區(qū)熔硅單晶的水平，用熱處理后的廉價(jià)直拉硅單晶片制造的紅外濾光片，可滿足紅外儀器設(shè)備所需紅外濾光片的要求，大大降低了濾光片的成本。

硅紅外濾光片的熱處理工藝，包括硅片的切、磨、拋光和腐蝕清洗及熱處理用石英爐管的HCl處理。

它的特征在于：

1.在爐溫低于400℃時(shí)，裝入硅片。

2.將爐溫升至400-550℃，保溫10-30小時(shí);然后升溫至700-800℃，保溫10-30小時(shí)，再升溫至800-900℃，保溫2-5小時(shí)，最后升溫至900-1000℃，保溫2-5小時(shí)。

3.在爐溫降至850℃以下時(shí)，取出硅片。

硅單晶紅外濾光片具有良好的紅外光譜特性以及物理性能，目前已經(jīng)廣泛的在紅外傳感器濾光片主要采用單晶硅為基片，通過在基片上交替鍍制不同折射率和厚度的材料薄膜，使基材具有長(zhǎng)波通、短波通，帶通，增透，反射等光學(xué)功能。

我司生產(chǎn)的單晶硅紅外濾光片主要應(yīng)用在激光、成像、探測(cè)、測(cè)溫、傳感、航空航天等領(lǐng)域的傳感器上面，所以也叫紅外傳感器專用濾光片。