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彩色濾光片膜層厚度的均勻性是指膜厚隨著基板表面位置變化而變化的情況。膜厚均勻性不好,膜系特性會(huì)遭到嚴(yán)重的破壞,所以薄膜厚度的均勻性如同薄膜厚度監(jiān)控一樣是一個(gè)重要的課題。
對(duì)于不同的薄膜往往有不同的均勻性要求。
對(duì)單層MgF2減反射膜,若膜厚為λ0/4(λ0=520nm),則均勻性誤差一般不得超過40nm,否則就會(huì)在同一基板上出現(xiàn)不同顏色。要求嚴(yán)格的是窄帶濾光片,其均勻性誤差所引起的整個(gè)濾光片表面上的峰值波長變化不能大于半寬度的0.3倍。對(duì)于一個(gè)直徑不大于50mm、在可見光區(qū)半寬度不小于20nm的濾光片,這個(gè)要求不算太高,但是對(duì)于更大直徑和更窄半寬度的濾光片問題就非常突出。對(duì)截止陡度要求很高的截止濾光片也是同樣,均勻性不好將導(dǎo)致過渡性嚴(yán)重惡化。
該彩色濾光片的主要特點(diǎn)是它讓部分光透過,由膜層把其余的光反射或吸收掉。 和吸收型中性濾光片相比,其特性和波長更沒關(guān)系,更具光學(xué)中性。它不影響光的色彩。 有一點(diǎn)要注意的是,一起使用多塊反射型中性濾光片時(shí),在各鏡面之間會(huì)發(fā)生多重反射。主要應(yīng)用在工業(yè)激光加工及其他儀器設(shè)備中。
單色濾光片,一般用干涉濾光片。固可以做截止濾光片,冷(反射)光鏡,減色濾光片,受抑全反干涉濾光片和感生透射干涉濾光片。另外還有用兩片玻璃構(gòu)成的單色濾光片,但是譜帶較寬。
單色光:理想單色光應(yīng)該是單頻光,為無始無終的正弦波,但是事實(shí)上只能得到極窄頻段的多頻光,為正弦波的混合物,稱為復(fù)合光、雜合光、多色輻射,當(dāng)然較明確的還是準(zhǔn)單色光,通常也就是稱為單色光或者多頻光。平常得到的光譜線即如此。若推廣到不可見的輻射,則順理成章地有單色輻射。