激光鏡片鍍膜前經(jīng)過一系列的清洗過程之后，在基片放入真空室的過程中以及在真空室抽取真空的過程中，裝入鍍膜設(shè)備真空室以及進(jìn)行蒸鍍前，基片均有可能被二次污染，從而影響濾光片蒸鍍效果和薄膜特性，通常采用離子束清洗技術(shù)，對(duì)基片進(jìn)行的后一道處理，以消除二次污染，保證基片在鍍膜前的真正清潔。離子束清洗技術(shù)的清潔機(jī)理是: 吸附或黏附在基片上的污物在高能離子束的轟擊下脫離基片; 或通過高熱能的氧離子氧化污物分子，使它易于被離子碰撞而脫離基片。

在探測(cè)器制造加工工藝中，很多都涉及清洗技術(shù)，如芯片制作期間的基片清洗，外延生長(zhǎng)片的清洗，鍍膜加工前基片的清洗，以及濾光片等光學(xué)元件加工的清洗等。

隨著科技的發(fā)展，半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)對(duì)清潔度的要求越來越高。也不斷有復(fù)雜的新洗凈系統(tǒng)和設(shè)備投入使用。在光學(xué)儀器、精密機(jī)械以及電子機(jī)械領(lǐng)域也越來越多地需要精密工業(yè)清洗。無論是半導(dǎo)體薄膜的生長(zhǎng)還是基于半導(dǎo)體薄膜的器件制備，襯底的清洗和處理是必不可少的一個(gè)環(huán)節(jié)。

激光鏡片熒光濾光片是熒光成像濾光片的簡(jiǎn)稱，是應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)和生命科學(xué)儀器的關(guān)鍵元件，主要作用是在生物醫(yī)學(xué)熒光檢驗(yàn)分析系統(tǒng)中分離和選擇物質(zhì)的激發(fā)光與發(fā)射熒光的特征波段光譜。通常要求濾光片截止深度在OD5以上。應(yīng)用于熒光檢測(cè)系統(tǒng)的濾光片的核心要求是高截止陡度、高透過率、高定位精度、高的截止深度以及優(yōu)良的環(huán)境穩(wěn)定性。

熒光濾光片一般包含三片組合，即激發(fā)濾光片、發(fā)射濾光片和二色鏡。

激發(fā)濾光片：在熒光顯微鏡中，只有激發(fā)熒光的波長(zhǎng)可通過的濾光片。過去使用的是短波通濾光片，現(xiàn)在基本上都使用帶通濾光片。其外殼上刻有箭頭，指示所推薦的光的傳播方向。

發(fā)射濾光片：選擇并傳輸樣本發(fā)出的熒光，其他范圍光線截止。發(fā)射光的波長(zhǎng)比激發(fā)光的波長(zhǎng)要長(zhǎng)（更加靠近紅色）。可以選擇帶通濾光片或者長(zhǎng)波通濾光片作為發(fā)射濾光片。其外殼上刻有箭頭，指示所推薦的光的傳播方向。